Лазерный интерферометр для измерения перемещений

Лазерный интерферометр для измерения перемещений

Совершенствование технологических процедур диктует необходимость изготовления промышленных структур, в которых положение материала при существенных значениях скоростей, перемещений и ускорений может быть определено с погрешностями, которые лежат в субмикронном диапазоне. Это влечёт за собой повышение требований к измерительным средствам, которые входят в состав специального производственного оборудования.

То есть, требуется разработка высокоточных перспективных методов и средств измерения, в основе которых лежит лазерная интерферометрия.
При изготовлении интерференционных средств и методов измерения перемещений необходимо также брать во внимание ряд важных особенностей, которые характерны для основной массы технических измерений, к примеру, для осуществления контроля лазерных фотопостроителей, отсчетных систем прецизионных станков, координатно-измерительных машин.

Во-первых, особенность включает в себя невозможность определения перемещений исследуемой точки объекта напрямую. К примеру, не представляется возможным измерение параметров обрабатываемой на станке продукции непосредственно в зоне обработки или смещение рабочей кромки инструмента при резке.

Как правило, для этого используют показания лимбов и отсчетных шкал, которые однозначно характеризуют перемещение отдельно взятых подвижных частей инструмента или оборудования.

Следующая особенность заключена в необходимости высокоточных измерений в большом диапазоне перемещений. При этом, применение метода счета интерференционных полос целесообразно далеко не всегда, так как в этом случае выдвигаются весьма жесткие требования к быстрым действиям устройств регистрации, а это существенно увеличивает их стоимость, а прирост ошибок в каждом периоде счета может спровоцировать немаловажные ошибки в измерениях. Рассматриваемое измерительное устройство позволяет увеличивать функциональные способности лазерных интерферометров за счет расширения диапазона контролируемых перемещений без осуществления счета интерференционных полос.